HiPIMS設(shè)備:高能脈沖弧PVD設(shè)備及脈沖復(fù)合PVD設(shè)備
HiPIMS設(shè)備產(chǎn)品介紹:
高功率離子源在高離子電流密度下在更大面積上實(shí)現(xiàn)均勻、更大的離子沉積分布。
不同金屬、合金和氧化物的混合濺射,膜層均勻。
全自動(dòng)控制系統(tǒng),防腐能力極高