對(duì)比陰極弧與HiPIMS對(duì)AlTiN沉積膜層的研究

目前制備硬質(zhì)合金涂層主要可采用PVD方式，而PVD沉積除磁控放電外，還有陰極弧放電進(jìn)行涂層PVD沉積，相比磁控，陰極弧放電結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，已廣泛應(yīng)用于各種涂層技術(shù)的制備，如裝飾鍍層，其工藝沉積速率快。隨著工藝的要求逐漸提高，硬質(zhì)合金涂層在硬度等方面提出了更高的要求，而HiPIMS在高質(zhì)量硬質(zhì)涂層方面更具有顯著優(yōu)勢(shì)。通過(guò)對(duì)比研究陰極弧和HiPIMS沉積AlTiN合金涂層的性質(zhì)研究，我們則可以更好地通過(guò)材料特性理解陰極弧與HiPIMS放電的特性。

圖1.AlTiN表面(a)陰極弧SEM,(b)HiPIMS SEM,(c)陰極弧AFM，(d)HiPIMS AFM

圖2.電化學(xué)性能a:無(wú)涂層樣品，b:陰極弧涂層樣品，c:HiPIMS涂層樣品;A阻抗測(cè)試,BHiPIMS SEM,

而電化學(xué)測(cè)試結(jié)果表明，HiPMIS制備的AlTiN相比陰極弧制備的樣品擁有更高的阻抗，如圖2(A)所示,以及更小的極化電流圖2(B)所示，電化學(xué)結(jié)果表明，HiPIMS制備的AlTiN膜層更耐腐蝕。

圖3.結(jié)合力測(cè)試結(jié)果

表1.力學(xué)性能結(jié)果

力學(xué)性能測(cè)試結(jié)果表明，HiPIMS制備的薄膜比陰極弧有更好的力學(xué)性能，如較好的結(jié)合力圖3，以及更高的硬度，更低的殘余應(yīng)力等，如圖表1所示。

1) 通過(guò)薄膜質(zhì)量和性能反映了不同的放電形式制備的薄膜差異。

2) 如果結(jié)合更多的放電物理參數(shù)，則更有助于系統(tǒng)性的理解陰極弧和HiPIMS放電。

1. A Comprehensive Study of Al0.6Ti0.4N Coatings Deposited by Cathodic Arc and HiPIMS PVD Methods in Relation to Their Cutting Performance during the Machining of an Inconel 718 Alloy

（本文章由xdz供稿）