2024大灣區(qū)高能脈沖PVD高峰論壇在松山湖材料實(shí)驗(yàn)室成功舉辦

12月14日，由松山湖材料實(shí)驗(yàn)室、哈爾濱工業(yè)大學(xué)材料結(jié)構(gòu)精密焊接與連接全國重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室以及等離子體放電團(tuán)隊(duì)孵化的高能脈沖PVD電源企業(yè)新鉑科技(東莞)有限公司聯(lián)合主辦的“2024大灣區(qū)高能脈沖PVD高峰論壇”在松山湖材料實(shí)驗(yàn)室會議中心成功舉行。本次會議邀請了近20位專家學(xué)者做邀請報(bào)告，共有清華大學(xué)、北京大學(xué)、哈爾濱工業(yè)大學(xué)、華南理工大學(xué)、香港城市大學(xué)、松山湖材料實(shí)驗(yàn)室、中國科學(xué)院金屬研究所、中國科學(xué)院蘭州化學(xué)物理研究所、廣東省科學(xué)院新材料研究所、季華實(shí)驗(yàn)室、華為、華星光電、捷嘉偉創(chuàng)、富士康、廣東匯成等百余所高校、科研院所和企業(yè)的專家學(xué)者250余人參加了本次學(xué)術(shù)會議，分享和探討高能脈沖PVD（HiPIMS）行業(yè)領(lǐng)域的研究進(jìn)展，涵蓋半導(dǎo)體、航空航天、硬質(zhì)刀具、3C制造等多個(gè)領(lǐng)域，共同探討PVD行業(yè)難點(diǎn)。旨在推動校-企-研合作，利用高能脈沖磁控、高能脈沖弧賦能真空鍍膜行業(yè)技術(shù)升級，進(jìn)而為PVD行業(yè)的發(fā)展注入新的活力。

等離子體放電團(tuán)隊(duì)負(fù)責(zé)人、哈爾濱工業(yè)大學(xué)田修波教授作為大會主席主持了會議開幕式。松山湖實(shí)驗(yàn)室黨委副書記/主任助理王玉文博士，哈爾濱工業(yè)大學(xué)材料結(jié)構(gòu)精密焊接與連接全國重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室副主任亓鈞雷教授、廣東省真空學(xué)會理事長劉彭義教授、廣東匯成真空李志榮總經(jīng)理在開幕式上致辭。他們充分肯定了本次論壇對大灣區(qū)真空行業(yè)發(fā)展的必要性和迫切程度，大力稱贊了相關(guān)從業(yè)工作者近年來所做的努力與貢獻(xiàn)，并預(yù)祝大會圓滿進(jìn)行。

等離子體放電團(tuán)隊(duì)負(fù)責(zé)人、哈爾濱工業(yè)大學(xué)田修波教授主持開幕式

松山湖材料實(shí)驗(yàn)室黨委副書記、主任助理王玉文博士致辭

哈爾濱工業(yè)大學(xué)焊接與連接全國重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室副主任亓鈞雷教授致辭

廣東真空學(xué)會理事長劉彭義教授致辭

廣東匯成真空李志榮總經(jīng)理致辭

本論壇聚焦“高能脈沖磁控”、“脈沖弧”新技術(shù)，高校和研究院所代表匯報(bào)了高端制造領(lǐng)域的涂層制備與應(yīng)用，從頂層設(shè)計(jì)與底層邏輯角度剖析了HiPIMS的優(yōu)勢與局限性，展示了包括DLC、Ta-C、MAX相及多種金屬基涂層及等離子體特性的研究過程，探討了在表面防護(hù)、裝飾鍍及半導(dǎo)體領(lǐng)域的應(yīng)用潛力；企業(yè)代表根據(jù)行業(yè)發(fā)展情況，討論了相關(guān)行業(yè)的應(yīng)用背景和技術(shù)需求，并在大會上分享了相關(guān)技術(shù)在實(shí)際應(yīng)用過程中存在的問題及注意事項(xiàng)。田修波教授做了高能脈沖PVD電源的新進(jìn)展、適配性及典型應(yīng)用案例的報(bào)告分享，并總結(jié)歸納了PVD所涉及到的行業(yè)發(fā)展相關(guān)問題。

會議期間，報(bào)告精彩紛呈，與會代表踴躍提問、積極發(fā)言，會場學(xué)術(shù)氣氛濃厚，來自高校、科研院所與企業(yè)家進(jìn)行了充分溝通交流，達(dá)成多項(xiàng)合作意向，為大灣區(qū)真空行業(yè)發(fā)展注入新的活力，取得圓滿成功。

本文內(nèi)容源于：松山湖材料實(shí)驗(yàn)室

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